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Pride of Melcon
국내외 기업과 당당히 경쟁합니다. 글로벌 기업 멜콘!
반도체 제조 장비
세계 최고의 Memory Major 기업에
고성능 제품을 납품하고 있으며
가치 높은 기술과 Service 제공

통해서 고객에게는 만족과 감동을 주고
조달/설계/제조 등 자체 기술력을 통한
장비 국산화
를 통한 TOTAL Solution
구축을 통하여, 반도체 시장의 요구에
부응해 나아가고 있습니다.
THC CDA 반도체 제조 장비
미래 산업
멜콘주식회사의 신사업부는 AI 기반의
Self-Diagnosis 기술과 반도체 장치 기술을
바탕으로 첨단 산업에 최적화된
Software와 Service를 제공
하기 위하여
지속적인 연구개발에 박차를 가하고 있습니다.
미래 산업

THC

300mm 대응용의 THC

Control Spec. Temp. THC S.V ± 0.1℃
Humid. S.V ± 0.5℃
Temp. CHR S.V ± 0.1℃

200mm 대응용의 THC

Control Spec. Temp. THC S.V ± 0.1℃
Humid. S.V ± 0.5℃

V4 FOR 8 inch

Control Spec. Temp. THC S.V ± 0.1℃
Humid. S.V ± 0.5℃

CDA

제품사양

온도/습도 제어 성능
  • 온도 : 23 ℃ ± 1 ℃, 습도 :10% ↓ (특정 공정 3% ↓)
  • 풍속 : 0.2 ~ 0.5 m/sec)

반도체 제조 장비

제품사양

  • Glass 사이즈 : 5G ~ 8G Glass (Max 10G)
  • 제어 온도 범위 : +20.0℃ ~27.0℃
  • 온도 제어 정밀도 : S/V ± 0.05 ℃
  • Option : Absorbing vibration of coolant flow.

미래 산업

  • "Humidity controlled Clean Air supply system"을 이용한 특수 공정에서의
    H2O에 의한 Defect control 기능.
  • Data Gathering에서 Big Data까지 아우르는 Software solution을 제공함.